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场景

评价昂贵

有的现场每改一组参数都要等机器稳定,一次评价代价高,不能靠大量试错。

本页写的是一类现场,不是某厂交付记录。半导体产线只作图示氛围。公开文献里光刻、刻蚀一类配方探索说明这类现场确实在做在线参数自动调优,不代表 OptimLight 已在该产线交付。

占位插画,图示为高代价试验氛围。后续替换为可商用产线或试验台照片;不得写成已在该现场交付。

现场通常怎么做

人用较少次数、凭经验选下一组参数。等稳定的时间已经花掉,观测窗口也短,换人之后很难复述当时为什么这样选。

产品怎么收

等待步先判定机器是否已经稳定、参数是否已经生效,再打开测量窗口。现行 BO 适合评价一次代价高、需要更省步数的搜索。EA 仍可用于需要种群搜索的同一类现场。

对应哪几个步骤

  • 规划:在步数昂贵时给出下一组值得试的动作。
  • 执行:把动作下发到控制接口。
  • 等待:这一步本身就是代价的一部分,不能省略。
  • 观测:用这一次已经付过代价的窗口评估目标与约束。

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